光刻

2023年末，三星与ASML签署了一项价值1万亿韩元的协议，双方将在韩国京畿道东滩投资建设半导体芯片研究设施，并在那里共同努力改进EUV光刻制造技术。与此同时，三星还获得了High-NA EUV光刻设备技术的优先权。 据TrendForce报道，ASML现在似乎放弃了与三星的合作建设半导体芯片研究设施，开始将早期购买的土地出售。据了解，ASML在去年购入了6…